Zaznacz stronę
Flaga GB

English

MOBI ALD

Mobile ALD system for in-vacuo surface science measurements

Projekt MOBIALD ma na celu opracowanie mobilnego systemu osadzania warstw atomowych (ALD), przeznaczonego do zaawansowanych badań nad inżynierią powierzchni i zjawisk na granicy faz. System ten umożliwi bezpośrednią integrację procesów ALD z nowoczesnymi technikami analizy powierzchni, działającymi w warunkach wysokiej i ultrawysokiej próżni (HV/UHV). Dzięki temu możliwe będzie prowadzenie modyfikacji powierzchni wspomaganych plazmowo oraz transfer próbek w warunkach próżniowych (in-vacuo)

Cele Projektu

Główne cele projektu obejmują opracowanie i wykonanie prototypu mobilnego systemu ALD oraz weryfikację jego możliwości badawczych w zakresie analizy właściwości powierzchni. W ramach projektu prowadzone będą badania z wykorzystaniem spektroskopii absorpcyjnej promieniowania rentgenowskiego (XAS) — obejmującej fluorescencję rentgenowską (XRF) oraz pomiar całkowitego prądu elektronowego — a także pomiary spektroskopii fotoelektronów rentgenowskich (XPS). Pomiary będą realizowane w polskim ośrodku synchrotronowym SOLARIS (badania XAS),  oraz w laboratoriach AGH (badania XPS) przez badaczy AGH.

Cele naukowe projektu koncentrują się na badaniu procesów nukleacji i początkowych etapów wzrostu tlenków Al₂O₃, ZnO i Cu na powierzchniach metalicznych i hydroksylowanych, ze szczególnym uwzględnieniem zjawisk adsorpcji i chemisorpcji prekursorów gazowych w kolejnych półcyklach ALD. Uzyskane wyniki pozwolą określić stan utlenienia, strukturę chemiczną i elektronową oraz skład pierwiastkowy na granicy faz i w obrębie rosnących warstw

PROGRAM SZWAJCARSKO-POLSKI

Program Szwajcarsko-Polski (Szwajcarski Program Współpracy) to inicjatywa rządu Szwajcarii, której celem jest zmniejszanie różnic społecznych i gospodarczych w obrębie Unii Europejskiej, w tym w Polsce. Dodatkową korzyścią programu jest wzmacnianie współpracy dwustronnej pomiędzy Szwajcarią a Polską.

Przejdź do strony programu:

programszwajcarski.gov.pl

OKRES REALIZACJI I FINANSOWANIE PROJEKTU

Okres realizacji: 01.04.2025 – 31.03.2027

Wartość projektu: 4 646 320,32 zł

Wartość dofinansowania: 4 478 140,32 zł

CZłonkowie konsorcjum

 

CBRTP

PCO – lider konsorcjum, automatyzacja

Skontaktuj się
Biuro CBRTP:
ul. Zygmunta Modzelewskiego 77
02-679 Warszawa
Dział Administracji:
e-mail: office@cbrtp.pl
tel.: +48 726 510 110

Measline sp. z o.o.

PCP – partner konsorcjum, budowa prototypu 

Skontaktuj się
MeasLine Oddział Skawina:
ul. Piłsudskiego 3,
32-050 Skawina
e-mail: info@measline.com
tel.: +48 12 307 29 80

AGH

PCP – partner konsorcjum, charakteryzacja próbek 

Skontaktuj się
Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie
Akademickie Centrum Materiałów i Nanotechnologii
al. Mickiewicza 30
30-059 Kraków
Sekretariat:

e-mail: acmin@agh.edu.pl

tel.: +48 12 617 49 44

EMPA

PCP – partner konsorcjum, koncepcja procesu, symulacje

Skontaktuj się
Ueberlandstrasse 129
8600 Dübendorf / Switzerland
tel.: +41 58 765 11 11
Logo Szwajcarii

REALIZACJA PROJEKTU

Spotkanie inaugurujące pracę konsorcjum

W dniach 3–4 września 2025 r. odbyło się spotkanie przedstawicieli jednostek partnerskich realizujących projekt. Pierwszego dnia spotkanie zostało zorganizowane w siedzibie Akademii Górniczo-Hutniczej im. Stanisława Staszica w Krakowie, natomiast drugiego dnia w siedzibie firmy MeasLine sp. z o.o.

Celem spotkania było oficjalne rozpoczęcie współpracy w ramach projektu oraz przedstawienie się partnerów. Uczestnicy spotkania zapoznali się z zespołami odpowiedzialnymi za realizację projektu po stronie AGH oraz partnera przemysłowego, a także z profilem działalności obu instytucji. Podczas spotkania omówiono zakres odpowiedzialności poszczególnych partnerów oraz ustalono założenia i harmonogram dalszej współpracy projektowej.

Przedstawiciele jednostek partnerskich podczas spotkania w siedzibie MeasLine.

Zakończenie etapu projektowania systemu MobiALD 

W ramach realizacji projektu MobiALD opracowano projekt mobilnego systemu  ALD.

Prace obejmowały przygotowanie koncepcji systemu, opracowanie modelu 3D komory oraz wykonanie analiz i symulacji mających na celu dobór odpowiednich wymiarów, parametrów pracy oraz kluczowych komponentów układu. Szczególną uwagę poświęcono zagadnieniom związanym z:

  • doborem systemu pompowego,

  • zapewnieniem odpowiednich warunków przepływu gazów procesowych,

  • integracją systemu z aparaturą analityczną,

  • optymalizacją geometrii komory,

  • zapewnieniem jednorodnych warunków procesu nanoszenia cienkich warstw metodą ALD.

Na podstawie przeprowadzonych analiz opracowano dokumentację projektową umożliwiającą rozpoczęcie kolejnych etapów realizacji systemu.

Administratorem strony jest firma MeasLine sp. z o.o. 

Dane kontaktowe

ul. Piłsudskiego 3,
32-050 Skawina
tel.: 12 307 29 80
e-mail: info@measline.com